ベアリングレシオ

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ベアリングレシオ

ベアリングレシオ曲線は振幅分布関数(ADF)の積分で、スキャンしたサーフェスにおける、空中に対する素材の比率の定量化に使われます。このプロパティは、次の名前を含む多くの別の名前でも知られています。

 

アボット・ファイアストン曲線

アボット曲線

ベアリングエリア曲線

素材レシオ曲線

 

参照する値は全て同じです。

 

所定の深さでスキャン画像を水平にスライスしてベアリングレシオ曲線を視覚化し、空中に対する素材の比率を見出します。例えば、下図の青いラインは、0 µmの深さの面を示しています。その高さに描写された平面は100%空中にあり、当該高さに素材は存在しません。

 

Example - Bearing Ratio

ベアリングレシオ曲線の例:ダイシングソーの性能

 

しかし、赤いラインで示されている20 µmの深さに描写された平面には、素材と空中が混ざって存在します。この比率を計算するには、素材の長さ(L1、L2、L3…)を合計し、それをスキャン画像の全長で割ります。この深さでの空中に対するサーフェスの比率は、約84%です。サンプルにより深く入り込んで行くと、比率は100%に向けて高まります。この例の場合、ダイスチャンネルの最低値である約66 µm(黄色いライン)の最下部を超えたところで、100%になります。

 

ベアリングレシオ曲線は、深さに対する素材の度数を表示する、ヒストグラム機能も含んでいます。