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二乗平均平方根(RMS)ラフネスパラメーター(Sq)は、サンプル領域内の平均平面からサーフェスまでの距離の二乗平均平方根です。このアルゴリズムを表すデジタル方程式は、下記のように示されます。
M はサーフェス内の列の数、Nはサーフェス内の行の数です。
Sqは非常に一般的で、よく使われるパラメーターです。統計の分野で言う、標本標準偏差です。