ユーザー定義領域全体のステップの高さの平均値を測定します。ステップ高さ をクリックしてサイドパネルを開き、矩形タブをクリックしてください。ProfilmOnlineがステップの位置を検出し、トップビューに赤と白の破線を描写して示します。 |
 |
破線が正しく検出されない場合は、黄色いボックスの輪郭をクリック&ドラッグして、分析領域を変更してください。更新 をクリックすると、新たなステップの位置が表示されます。正しいステップ位置を識別している間はボックスを出来るだけ大きくし、分析のためのデータ量を最大化してください。このことは、ステップ2におけるボックスのサイズ変更にも重要です。
サイドパネル内の ステップ2に行く をクリックすると、ソフトウェアが1および2とラベル付けした1組のボックスを、定義した領域内に追加します。定義した領域の内側で、ボックスを希望に応じて移動およびサイズ変更してください。ボックスはミラーリングされ、一方に加えられた変更は即座にもう一方に反映されます。ボックスは破線および外縁で定義された空間より大きくすることはできません。
また、サーフェス水平化の自動更新 を有効化すれば、矩形領域を使って画像を水平化することもできます。どの矩形を参照サーフェスとして使うか選択してください。
素材 は、異種素材機能を有効化します。この機能を使うと、異なる素材からの反射における位相変化が引き起こす、ステップ高さ測定のエラーの原因を把握することができます。例えば、アルミニウムでコーティングされたガラス基板があるとします。サーフェスの反射プロパティが異なるために起こる位相変化が原因で、そのサーフェスに関連するステップ最上部の位置が誤って認識される場合があります。異種素材 を有効化することで修正を適用し、正確なステップ高さを計算することができます。
各矩形は正しい素材と確実に一致させてください。上図を例にすると、矩形1はステップ最上部用のアルミニウムとし、矩形2はガラス誘電体とします。
終了 をクリックしてどちらかの修正を適用すると、2つの矩形の高さの差の平均値である ステップ高さ結果 が表示されます。